德國(guó)inficon熱電離真空計(jì)BAG552 |
點(diǎn)擊次數(shù):113 更新時(shí)間:2024-11-19 |
德國(guó)inficon熱電離真空計(jì)BAG552
對(duì)于需要獨(dú)立熱離子計(jì)技術(shù)的應(yīng)用,Trigon™ 系列包括單一技術(shù) Bayard-Alpert 熱離子計(jì) BAG552。 BAG552 設(shè)計(jì)用于壓力范圍為 5 × 10 -10 ... 2 x 10 -2 mbar 的氣體真空測(cè)量。支持的雙燈絲提供BAG552的精度、可重復(fù)性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計(jì)控制器系列VGC501、VGC502、VGC503結(jié)合使用。 inficon熱電離真空計(jì)BAG552優(yōu)點(diǎn) 2 üPure Bayard-Alpert 測(cè)量系統(tǒng)適用于較寬的 UHV 和 HV 測(cè)量范圍 2 ü2 條用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的燈絲 2 ü電隔離電子器件以避免雜散電流 2 ü滑動(dòng)排放模式可避免切換排放流時(shí)壓力跳躍和凍結(jié) 2 ü由于可拆卸校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片,可烘烤性更長(zhǎng) 2 ü設(shè)定點(diǎn)繼電器 2 ü明亮、大尺寸 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉(zhuǎn)),帶用戶界面 2 ü模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT® 2 ü可與 VGC50x 控制器系列結(jié)合使用 2 üRoHS 合規(guī)性 inficon熱電離真空計(jì)BAG552典型應(yīng)用 ü ·半導(dǎo)體工藝中的壓力測(cè)量 ü ·工業(yè)涂料 ü ·高真空至BAG552真空范圍系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制 inficon熱電離真空計(jì)BAG552規(guī)格 測(cè)量范圍(空氣、O 2、CO、N 2): 5 × 10 -10 … 2 × 10 -2毫巴 準(zhǔn)確性: 1 × 10 -8 … 2 × 10 -2毫巴: ±15 讀數(shù) 重復(fù)性: 讀數(shù)的 5%,10 -8 … 2 × 10 -2 mbar(穩(wěn)定 10 分鐘后) 暴露于真空的材料: 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢
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